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    半導(dǎo)體勻膠顯影機(jī)
    發(fā)布時(shí)間:2025-06-05 瀏覽:14次

      傳感器在勻膠顯影機(jī)中的作用

      半導(dǎo)體勻膠顯影機(jī)一般由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

      半導(dǎo)體勻膠顯影機(jī)一般由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

      本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機(jī)中的作用~

      01 檢測水滴/膠滴

      光纖傳感器 PG1+ PT-30ML

      選用區(qū)域?qū)ι涔饫w,覆蓋面積廣,即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區(qū)域內(nèi),可被穩(wěn)定檢測

      功率大,光軸清晰明亮,可輕松調(diào)整光軸位置

      放大器搭載了超高速模式,微秒級響應(yīng)時(shí)間,可穩(wěn)定快速地進(jìn)行檢測

      SET按鍵調(diào)試,使用簡便輕松

      


      02 檢測晶片位置

      激光傳感器 ELE-RM05N

      晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產(chǎn)生的光量值偏差很小,需要選擇回歸反射型傳感器可進(jìn)行穩(wěn)定的測量,安裝反光板,減少了布線煩惱

      光斑小,可將傳感器裝在外部,穿過孔洞對內(nèi)部物料進(jìn)行檢測,輕松實(shí)現(xiàn)識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況

      激光的指向性佳,光斑小,便于安裝

      


      03 控制憎水液位

      液位傳感器 CE30-26NO

      當(dāng)槽管內(nèi)存在氣泡時(shí),普通的光學(xué)傳感器很可能造成誤判

      產(chǎn)品防護(hù)等級IP67,防水防塵

      傳感器固定方式靈活,可任意輕松移動(dòng)檢測位置

      


      04 匣盒載物臺的下限檢測

      接近傳感器 ESL-T50NO

      超薄尺寸,厚度僅有4mm,任意狹小空間均可安裝

      采用對射檢測原理,穩(wěn)定可靠

      檢測距離達(dá)50cm,任意大小的設(shè)備場景均可使用

      


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